삼성전자 EUV 공정, 日 수출규제로 직격탄 맞나

최종수정 2019-07-11 07:50
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그래픽=박혜수 기자

삼성전자의 첨단 극자외선(EUV) 기술공정이 일본 수출규제의 직격탄을 맞을 것이라는 우려다. 일본의 대(對)한국 수출규제 품목중 레지스트가 EUV용 포토레지스트(PR)로 알려지면서 부담감이 커졌다는 평가다.

11일 업계에 따르면 포토레지스트의 경우 공정 과정중 종류별로 여러 층이 도포되는데, 핵심층에 사용되는 제품은 일본 제품으로 알려져 있다.
특히 EUV용 포토FP지스트는 일본의 JSR, 신에츠 등이 공급하고 있으며 동진쎄미켐 등은 아직 EUV용을 개발 중이다.

앞서 삼성전자는 ‘반도체 비전 2030’을 선포하며 시스템 반도체 강화의 일환으로 EUV 라인의 생산 확대를 발표한 바 있으며 이미 7나노 EUV 양산에 성공, 현재는 소규모 시범 생산라인을 가동하고 있다. 여기에 내년 1월 화성의 EUV전용 생산라인이 가동될 예정이어서 타격이 예상된다는 게 업계의 설명이다.

한편 문재인 대통령은 지난 10일 일본 수출규제 사태와 관련해 열린 경제계 간담회에서 협의를 통한 해결 원칙을 천명하면서 일본을 향한 엄중한 경고 메시지를 내놨다.
문 대통령은 “(일본의 규제조치는) 당연히 세계경제에도 악영향을 미치게 될 것이므로, 우리는 국제적인 공조도 함께 추진할 것”이라고 말했다.

최홍기 기자 hkc@
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